【摘 要】
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采用一种简单的新工艺分别在硅片和氧化铝陶瓷基片上制备了γ－Ｆｅ＿２Ｏ＿３薄膜。该工艺分３步完成：首先利用Ｆｅ（ＮＯ＿３）＿３酒精溶液通过浸渍涂布工艺制备α－Ｆｅ＿２Ｏ＿３薄膜，其次α－Ｆｅ＿２Ｏ＿３薄膜在氢气流中、３２０～３５０℃之间热处理３０ｍｉｎ被还原为
【机 构】
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中科院电子所传感技术国家重点实验室，中科院合肥智能机械研究所
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采用一种简单的新工艺分别在硅片和氧化铝陶瓷基片上制备了γ－Ｆｅ＿２Ｏ＿３薄膜。该工艺分３步完成：首先利用Ｆｅ（ＮＯ＿３）＿３酒精溶液通过浸渍涂布工艺制备α－Ｆｅ＿２Ｏ＿３薄膜，其次α－Ｆｅ＿２Ｏ＿３薄膜在氢气流中、３２０～３５０℃之间热处理３０ｍｉｎ被还原为Ｆｅ＿３Ｏ＿４薄膜，最后Ｆｅ＿３Ｏ＿４薄膜在空气中２５０℃左右热处理３０ｍｉｎ被氧化为γ－Ｆｅ＿２Ｏ＿３薄膜。ＸＲＤ和ＳＥＭ分析结果表明该γ－Ｆｅ＿２Ｏ＿３薄膜呈尖晶石物相和自由取向，晶粒为针形，具有疏松多孔的微结构。
A simple new process was used to prepare γ-Fe_2O_3 thin films on silicon and alumina ceramic substrates respectively. The process was completed in three steps: Firstly, α-Fe 2 O 3 thin films were prepared by dip coating with Fe (NO 3) 3 alcohol solution and then α-Fe 2 O 3 thin films were reduced to Fe 3 O 4 thin films by thermal treatment at 320-350 ℃ in hydrogen flow for 30 min Finally, Fe_3O_4 thin films were oxidized to γ-Fe_2O_3 thin films by heat treatment at about 250 ℃ for 30 min in the air. The results of XRD and SEM show that the γ-Fe 2 O 3 thin film has a spinel phase and a free orientation, and the crystal grains are needle-shaped and have a loose porous microstructure.
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