以有效值计算的热声键合PZT换能器阻抗分析

来源 :应用声学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：honest1988li

【摘要】

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在热超声芯片键合过程中,PZT换能器阻抗是键合系统的一个重要的研究参数.本文在提取PZT换能器驱动电信号实部数据的前提下,采用连续加窗的有效统计值计算的广义阻抗表征整个

【作者】

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隆志力吴运新韩雷

【机构】

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中南大学机电工程学院

【出处】

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应用声学

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

：

换能器 PZT 阻抗分析计算有效值热声动态变化规律芯片键合广义阻抗试验方法详细介绍试验结果电信号统计值超声 Impedance of P

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在热超声芯片键合过程中,PZT换能器阻抗是键合系统的一个重要的研究参数.本文在提取PZT换能器驱动电信号实部数据的前提下,采用连续加窗的有效统计值计算的广义阻抗表征整个键合周期内的PZT换能器阻抗变化,由此获得键合过程PZT换能器阻抗的动态变化规律.文中详细介绍了PZT换能器阻抗的试验方法,并分析了试验结果.

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