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Properties of Al₂O₃ Films Prepared by Reactive Evapora

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lzh23

【摘 要】

：

【正】 Al₂O₃, films were deposited by reactive evaporation through a concentrated water vapor region at high substrate temperatures from 8

【出 处】

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真空科学与技术学报

【发表日期】

：

1992年Z1期

【关键词】

：

户口 

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【正】 Al₂O₃, films were deposited by reactive evaporation through a concentrated water vapor region at high substrate temperatures from 800 C to 1250℃. The effect of the substrate temperature on microstructure a

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