【摘 要】
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根据现阶段表面硅 IC工艺微机械的特点 ,分析了其接触副与动构件间的相对运动形式 ,探讨了基于此加工技术所开发的薄膜型结构微机械的摩擦源及其摩擦产生机理 ,结合宏机械的
【机 构】
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上海大学机械电子工程与自动化学院,上海大学机械电子工程与自动化学院,上海大学 (上海市 200072)
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根据现阶段表面硅 IC工艺微机械的特点 ,分析了其接触副与动构件间的相对运动形式 ,探讨了基于此加工技术所开发的薄膜型结构微机械的摩擦源及其摩擦产生机理 ,结合宏机械的发展历史 ,分析了进行相关摩擦学性能研究的几种方法与问题
According to the characteristics of the surface silicon IC process micromachining at the present stage, the relative motion between the contact pairs and the moving parts is analyzed. The friction sources and friction mechanism of the thin film micromachined machine based on this processing technology are discussed. Macro-mechanical history, analysis of several methods and problems related to the study of tribological properties
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