【摘 要】
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针对直接驱动XY平台高精密轮廓加工中存在的电气——机械延迟、系统参数不确定性及两轴驱动系统参数不匹配以及扰动等因素影响轮廓加工精度的问题，提出了将零相位误差跟踪控制
【机 构】
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沈阳工业大学电气工程学院,辽宁沈阳,110870
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针对直接驱动XY平台高精密轮廓加工中存在的电气——机械延迟、系统参数不确定性及两轴驱动系统参数不匹配以及扰动等因素影响轮廓加工精度的问题，提出了将零相位误差跟踪控制(ZPETC)与新型交叉耦合控制相结合的策略对两轴的运动进行协调控制，实现跟踪误差与轮廓误差同时减小。ZPETC作为前馈跟踪控制器，提高了快速性，克服了伺服滞后，使系统实现准确跟踪，减小了跟踪误差,进而有利于减小轮廓误差；新型交叉耦合控制作用于两轴之间，将轮廓误差作为直接被控量进行实时补偿控制，特别有效地提高了轮廓精度并简化了控制器设计。仿真和实验结果表明所设计控制系统具有较好的跟踪性和鲁棒性，进而大大提高了跟踪精度和轮廓精度。
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