【摘 要】
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通过对子孔径拼接中系统误差放大效应的分析研究，提出一种修正由干涉仪参考平晶引入的系统误差的方法。该方法只需利用三面互检获取参考平晶在拼接轴上（水平和垂直方向）的面形数据，再用该数据构建参考平晶的面形误差修正波面，即运用Zernike 多项式（离焦和像散项）对误差修正波面进行低阶二次曲面的拟合，并在子孔径拼接测量中进行实时修正。实验证明，该方法能够消除由干涉仪参考平晶所引起的系统误差对拼接的影响，有效提高拼接波面的精度。
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室,上海201800南京理工大学电子工程与光电技术学院,江苏南京210094
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通过对子孔径拼接中系统误差放大效应的分析研究，提出一种修正由干涉仪参考平晶引入的系统误差的方法。该方法只需利用三面互检获取参考平晶在拼接轴上（水平和垂直方向）的面形数据，再用该数据构建参考平晶的面形误差修正波面，即运用Zernike 多项式（离焦和像散项）对误差修正波面进行低阶二次曲面的拟合，并在子孔径拼接测量中进行实时修正。实验证明，该方法能够消除由干涉仪参考平晶所引起的系统误差对拼接的影响，有效提高拼接波面的精度。
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