【摘 要】
：
为了实现MEMS器件的计量,一个基于频闪成像原理的MEMS动态测试平台被构建,用于在全频率、相位和电压输入范围内表征器件的全三维运动.系统利用高亮度LED和LD作为脉冲光源,有
【基金项目】
：
国家高技术研究发展计划(863计划);
论文部分内容阅读
为了实现MEMS器件的计量,一个基于频闪成像原理的MEMS动态测试平台被构建,用于在全频率、相位和电压输入范围内表征器件的全三维运动.系统利用高亮度LED和LD作为脉冲光源,有效冻结MEMS器件的面内和离面运动,能在从静止状态到1MHz很宽的频率范围内对MEMS器件进行表征,达到了纳米级分辨力.通过实验对一个微谐振器进行了三维运动测量,在扫频和扫幅两种工作模式下,配合强大的数据分析软件,给出器件运动的幅频和相频特性曲线,为分析器件的动态性能提供了可靠数据.
其他文献
目的 :探讨 2型糖尿病早期糖尿病视网膜病变发生发展过程中的视网膜血流动力学变化。方法 :随机抽取无眼部症状的 2型糖尿病患者应用彩色多普勒超声监测其视网膜中央动脉的血
目的通过对臀大肌的形态学观测,以其对臀肌挛缩症松解术提供基础数据.方法用15具红色乳胶液动脉灌注的尸体作双侧臀部解剖30例,解剖观察臀大肌及其周围结构,测量臀大肌起止点
众所周知，市政建设项目能否正常运行以及业主的收益与市政工程的质量息息相关。本文主要从市政工程的实际问题出发，并与其实践相结合，对业主与市政工程项目之间的关系进行了一系
随着我国市场经济的发展和市场经济体制的不断完善，市场竞争日益激烈，建筑市场亦如此，同时人们对于建筑工程的要求也越来越高。为在激烈的市场竞争中求得发展，建筑企业应重视建筑
1病例报告例1,女婴,5个月龄,体重6kg.因生后进行性加重发绀伴呼吸困难,于2003年5月13日入院.体检:口唇、指甲发绀,心率130次/min,律齐,未闻及明显心脏杂音.心电图示窦性心律,
电力系统实时相角测量技术为电力系统动态监控提供了重要手段。数据采集是实时相角测量系统中的重要环节。本文介绍了一种高速数据采集系统,它基于高速、高性能、可热插拔的CPCI总线,采用了多路同步采样方式,在采样触发环节引入了数字锁相环,数据采集软件基于QNX实时操作系统。整个系统具有很高的实时性,在电网频率改变时能自适应调节采样频率,提高了采样精度,具有一定的可扩展性、可移植和通用性。
研究了湍流入料对线型中空纤維膜和编织型中空纤维膜的强化分离作用,比较了湍流入料与直流入料对线型中空纤维膜性能影响的差别,进行了迪恩涡强化编织型中空纤维膜与湍流入料
研制成功用于分离同位素的双波长TEA CO2激光器,该器件在放电电极之间空间部分重叠设计两个互相相关的光栅一平面腔,两个光栅一前一后,在空间上部分重叠,它们互相利用.此器件
泉州近代骑楼与当代骑楼形成于不同的时代背景,它们在风格特征、空间构成等方面均存在较大的差异,反映出不同时代的骑楼建筑特征.文中通过两者的对比,加深对骑楼的认识,引起
采用高温快速的水溶液聚合方法,合成膨润土/聚丙烯酸高吸水性复合材料.探讨复合材料制备过程中各种因素,如交联剂用量和膨润土超细粉用量等对复合材料吸水倍数的影响.文中还