【摘 要】
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利用作者提出的HEMT DCFL倒相器直流传输特性及瞬态特性计算机分析的模型,设计并制成了HEMT DCFL门电路及环形振荡器.在电路设计中,重点讨论了E/D NEMT倒相器的电路性能与器
【机 构】
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南京电子器件研究所,南京电子器件研究所
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利用作者提出的HEMT DCFL倒相器直流传输特性及瞬态特性计算机分析的模型,设计并制成了HEMT DCFL门电路及环形振荡器.在电路设计中,重点讨论了E/D NEMT倒相器的电路性能与器件的主要参数(栅长、栅宽、阈压)间的理论关系.工艺研究中,建立了挖栅时沟道饱和电流Is′与阈压值V_(t~h)间关系的理论曲线,并改进了传统化学湿法刻蚀工艺的阈压均匀性及E,D器件电流匹配的控制精度.实验制作了栅长为1μm的增强型和耗尽型HEMT.在1×1mm范围内,阈压偏差小于50mV,E/D倒相器的传输特性
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