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将采用直流磁控溅射方法制备的TiNi薄膜沉积在玻璃衬底上，在退火温度为500℃时，应用X射线衍射（XRD）和小角X射线散射（SAXS）研究室温溅射的TiNi合金薄膜结晶粒子的长大行为。结果表明，薄膜中的晶化粒子约在前13min以成核的方式生成，而在13min后不断长大，RG^3与退火时间t的关系不完全满足Lifshitz’s动力学理论。