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利用拉曼光谱结合XRD与SEM测试对未掺杂与Ag掺杂的In2S3薄膜进行了分析研究。XRD测试结果确定了In2S3的物相，并表明掺杂后晶粒尺寸发生一定的变化；拉曼光谱研究表明，掺杂后232、272及300cm^-1 3条拉曼谱线发生红移，这是由于掺杂后晶格膨胀引起的。结合部分拉曼谱线半高宽的展宽证实了掺杂后薄膜中存在间隙Ag原子；SEM的测试结果进一步证实Ag掺杂后In2S3晶格存在膨胀，并说明了In2S3薄膜的生长方式。