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基于单缝衍射理论 , 对位相光栅基片的上表面反射方向的衍射干涉场的分布规律进行了研究 , 提出了基于此分布规律对位相光栅的刻蚀深度进行实时检测的新方法 .
一种位相光栅激光衍射干涉场的研究
【摘 要】
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基于单缝衍射理论 , 对位相光栅基片的上表面反射方向的衍射干涉场的分布规律进行了研究 , 提出了基于此分布规律对位相光栅的刻蚀深度进行实时检测的新方法 .
【机 构】
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安徽工业大学电气信息学院
【出 处】
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安徽工业大学学报
【发表日期】
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2002年1期
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