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Determination of the deposition rate of DC magnetron sputtering in fabrication of X-ray supermirrors
Determination of the deposition rate of DC magnetron sputtering in fabrication of X-ray supermirrors
来源 :黑龙江科技学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chrisevenk
【摘 要】
:
为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7
【作 者】
:
Fengli Wang
Zhanshan Wang
Jing
【机 构】
:
Institute of Precision Optical Engineering,Department of Physics,Tongji University,Shanghai 200092
【出 处】
:
黑龙江科技学院学报
【发表日期】
:
2006年9期
【关键词】
:
DC magnetron sputtering
deposition rate
multilayer structure
sputtering target
d
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为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7<
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