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介绍了谐振式力传感器的工作原理,并从理论上和实验上对中科院合肥智能所研制的第一代微型硅谐振梁(3×0.4×0.045mm~3)式测力传感器进行了全面的振动分析,所得结果为其进一步优化设计提供了科学根据。文中使用的实验分析方法,为其它微小物体的动态参数识别提供了一条有效途径。
微型硅谐振式力传感器的振动分析
【摘 要】
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介绍了谐振式力传感器的工作原理,并从理论上和实验上对中科院合肥智能所研制的第一代微型硅谐振梁(3×0.4×0.045mm~3)式测力传感器进行了全面的振动分析,所得结果为其进一
【机 构】
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中国科学技术大学,中国科学技术大学合肥230026,合肥230026
【出 处】
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实验力学
【发表日期】
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1993年04期
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