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建立了两个不同波长激光同时辐照薄膜的损伤阈值测试装置,实验研究和对比1064nm激光,532nm激光,1064nm和532nm激光共同作用3种不同方式辐照1064nm和532nm增透膜(ARF)的损伤阈值及其损伤形貌。结果表明,1064nm和532nm激光共同作用损伤形貌和532nm激光单独作用下的形貌相似,532nm激光在诱发薄膜损伤因素中起主导作用。1064nm激光单独辐照薄膜的损伤阈值高于532nm激光,而1064nm和532nm激光共同作用下薄膜的阈值介于这两者之间。