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本文分析了梳状栅 CCD 的工作原理,给出了计算机分析结果,报导了在高电阻率衬底上制作的 n 沟道 CCD 图象传感器。梳状栅 CCD 所使用的窄栅为3μm,栅间隙处注入了1×10~(13)/cm~2的硼离子。无胖零条件下,电注入测试获得的转移效率η≥99.9%。
梳状栅两相CCD图象传感器
【摘 要】
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本文分析了梳状栅 CCD 的工作原理,给出了计算机分析结果,报导了在高电阻率衬底上制作的 n 沟道 CCD 图象传感器。梳状栅 CCD 所使用的窄栅为3μm,栅间隙处注入了1×10~(
【机 构】
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航空航天工业部三院八三五八所,航空航天工业部三院八三五八所
【出 处】
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红外与激光技术
【发表日期】
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1989年1期
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