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采用变形光栅条纹囹样直接分析的方法对小尺寸物体面形实现高精度测量．研制了一台小型的三维表面轮廓测试仪，测量范围（30×30）mm2，精度20μm，初步用于人类牙齿表面三维测量．最后提出了存在的问题和改进方向．
小尺寸物体三维面形高精度测量
【摘 要】
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采用变形光栅条纹囹样直接分析的方法对小尺寸物体面形实现高精度测量．研制了一台小型的三维表面轮廓测试仪，测量范围（30×30）mm2，精度20μm，初步用于人类牙齿表面三维测量．最后提出
【机 构】
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中国科学院西安光学精密机械研究所!西安; 710068; 中国人民解放军第四军医大学口腔医院!西安; 710032;
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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2004年期
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