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本文主要阐述铁注入Al_2O_3陶瓷退火前后的表面电性能。应用卢瑟福背散射分析(RBS)、俄歇电子能谱分析(AES)和X-光电子能谱分析(XPS)等测试手段,研究了注入层结构、注入射程和纵向浓度分布。最后,扼要地叙述了注入层的导电机制。
铁注入Al2O3陶瓷及退火改变材料表面电阻率的研究
【摘 要】
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本文主要阐述铁注入Al_2O_3陶瓷退火前后的表面电性能。应用卢瑟福背散射分析(RBS)、俄歇电子能谱分析(AES)和X-光电子能谱分析(XPS)等测试手段,研究了注入层结构、注入射程
【机 构】
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武汉工业大学,武汉工业大学
【出 处】
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核技术
【发表日期】
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1990年12期
【基金项目】
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中国科学院上海冶金所离子束开放实验室基金
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