射频溅射ZrO_2薄膜的摩擦学特性

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利用磁控射频反应溅射方法制备了 ZrO2薄膜。分析了工艺对薄膜结构的影响,结构与摩擦学特征的关系。研究表明,氧分压和基片温度是影响薄膜结构,从而影响其摩擦学特性的关键因素。 ZrO2 thin films were prepared by magnetron RF reactive sputtering. The influence of technology on the structure of the film and the relationship between structure and tribological characteristics were analyzed. The results show that the partial pressure of oxygen and substrate temperature are the key factors affecting the tribological properties of the films.
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