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详细分析了激光测量系统测量误差产生的原因，并提出了补偿测量误差的方法，进而建立了ＨＣＭ－Ｉ型超精密车床激光测量误差补偿系统。系统分辨率为０．０１μｍ。
超精密车床激光测量误差补偿系统的研制
【摘 要】
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详细分析了激光测量系统测量误差产生的原因，并提出了补偿测量误差的方法，进而建立了ＨＣＭ－Ｉ型超精密车床激光测量误差补偿系统。系统分辨率为０．０１μｍ。
【机 构】
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天津大学精密仪器与光电子工程学院,哈尔滨工业大学
【出 处】
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天津大学学报
【发表日期】
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1999年1期
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