【摘 要】
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采用辉光放电质谱法(GDMS)对高纯铟中铁、铜、铅、锌、铊、镉、锡等14种元素进行了测定,对仪器工作参数进行了优化,对预溅射过程时间的确定和质谱干扰的排除进行了讨论,结果
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采用辉光放电质谱法(GDMS)对高纯铟中铁、铜、铅、锌、铊、镉、锡等14种元素进行了测定,对仪器工作参数进行了优化,对预溅射过程时间的确定和质谱干扰的排除进行了讨论,结果表明,GDMS是目前具有足够灵敏度对高纯导电材料进行直接分析的有效手段。
The determination of 14 elements such as Fe, Cu, Pb, Zn, Thallium, Cadmium and Tin in high purity indium by Glow Discharge Mass Spectrometry (GDMS) has been carried out to optimize the working parameters of the instrument and determine the pre-sputtering process time And the exclusion of mass spectrometry interference were discussed. The results show that GDMS is an effective method for direct analysis of highly pure conductive materials with sufficient sensitivity.
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