Co／Ti／Si三元固相反应外延生长CoSi2薄膜 - 论文文献免费下载 - 搜论网

Co／Ti／Si三元固相反应外延生长CoSi2薄膜

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：weiyuan2009

【摘要】

：

研究采用Ｃｏ／Ｔｉ／Ｓｉ三元固相反应的方法生长外延ＣｏＳｉ２薄膜。通过选择适当的热处理条件，采用步退火，在Ｓｉ（１００）和Ｓｉ（１１１）衬底上均成功获得外延ＣｏＳｉ２薄膜。实验用ＸＲＤ．ＴＥＭ、ＲＢＳ／ｃｈａｎｎｅｌｉｎｇ等测试技术分析ＣｏＳｉ２薄膜外延特性，得到的ＣｏＳｉ２／Ｓｉ薄膜的ＲＢＳ／ｃｈａｎｎｅｌｉｎｇ最低产额Ｘｍｉｎ达

【作者】

：

刘平李炳宗孙臻顾志光黄维宁周祖尧倪如山

【机构】

：

复旦大学电子工程系,中国科学院上海冶金研究所离子束开放研究实验室

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

1994年4期

【关键词】

：

外延生长 CoSi2 固相反应

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

研究采用Ｃｏ／Ｔｉ／Ｓｉ三元固相反应的方法生长外延ＣｏＳｉ２薄膜。通过选择适当的热处理条件，采用步退火，在Ｓｉ（１００）和Ｓｉ（１１１）衬底上均成功获得外延ＣｏＳｉ２薄膜。实验用ＸＲＤ．ＴＥＭ、ＲＢＳ／ｃｈａｎｎｅｌｉｎｇ等测试技术分析ＣｏＳｉ２薄膜外延特性，得到的ＣｏＳｉ２／Ｓｉ薄膜的ＲＢＳ／ｃｈａｎｎｅｌｉｎｇ最低产额Ｘｍｉｎ达到１０－１４％，实验时ＣｏＳｉ２／Ｓｉ（１１１）样品，分别沿Ｓｉ衬

其他文献

网络在现代企业管理中的应用

期刊

现代企业管理原材料零部件

创新警察训练理念提升现场急救技能

在社会经济飞速发展的同时,人们之间的互动与交流越越发密切,与此同时,案件出现的概率也越发高了起来,对人民警察的要求也越发严苛,要求人民警察不但要对案件予以良好处理,也

期刊

创新警察训练理念现场急救技能必要性方式

六安-霍山地震危险区地震活动和地震构造

运用深、浅部构造对比方法与宏、微观构造解析技术 ,结合历史地震资料分析结果 ,探讨了中强震过渡区地震构造环境的研究途径。圈定出六安 -霍山地震危险区。对该地震危险区进

期刊

地震危险区深浅部构造对比宏微观构造解析地震构造

针叶树无性繁殖研究进展

在查获大量文献资料的基础上 ,就针叶树种无性繁殖技术 ,无性繁殖的生理基础等作了评述。着重介绍了无性繁殖中环境因子、植物生长调节剂等技术问题以及内源抑制物质与生根机

期刊

针叶树无性繁殖技术生理基础

教育的区域差距与政策选择

随着我国社会主义市场经济的推进,我国经济发展的区域差距越来越明显,与此同时,教育发展也与经济发展一样表现出随地区而不同的差序格局,这种差距不仅表现在东、中、西三大区

期刊

区域教育差距“双二元”体制政策选择

土壤重金属污染预警试验研究

随着社会和经济的高速发展，由人类活动产生的废弃物对生态环境的危害日益加重。区域地球化学调查资料显示，我国农用土壤中，有相当一部分已经受到不同程度的重金属元素污染，特别是

学位

重金属污染酸雨区试验研究重金属元素污染电导率变化有效态含量迁移特性土壤重金属元素程中DTPA

浅谈网络时代的阅读

针对网络时代的到来,分析网络阅读与传统阅读的优劣势,引导健康高效的阅读习惯。

期刊

网络传统理性阅读

纳滤膜法分离回收制药废水中抗生素的研究

本文主要针对纳滤（简称NF）膜分离回收洁霉素发酵废水进行试验研究。利用平板型及卷式纳滤膜在动态条件下筛选出合适的膜品种及操作条件，对不同浓缩工艺操作流程进行试验研究，并加

学位

纳滤膜洁霉素发酵废水处理截留率回收

基于激光测距的后车警示系统

系统根据两个激光测距信号相继到达接收模块的时间间隔,得到后方车辆的速度,再由两个后方车辆的速度得到后方车辆在一定时间内的加速度。利用统计学方法估计手动刹车所需的反

期刊

预碰撞激光速度加速度统计学警示功能

其他学术论文