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一种精密测量显示控制系统的设计

来源 :木材加工机械 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ramondwang

【摘 要】

：

精密测量技术是精密工程领域的一项重要研究内容.本文利用微动平台,二次开发控制软件,进行精密控制.为了克服回程误差,选择精度更高的光栅尺进行测量,整个测量系统组成伺服反

【作 者】

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郭嘉昒 何伟明 钟伦超 

【机 构】

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四川科技职工大学,四川成都,610101清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084;

【出 处】

：

木材加工机械

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

精密测量 光栅尺 微动平台 反馈控制 设计 

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精密测量技术是精密工程领域的一项重要研究内容.本文利用微动平台,二次开发控制软件,进行精密控制.为了克服回程误差,选择精度更高的光栅尺进行测量,整个测量系统组成伺服反馈系统,测量软件上进行闭环,一键设定到位,精度能达到0.2μm,适合于各种单自由度或多自由度小载荷精密移动领域.

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