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真空镀铝中溅射问题的分析及处理
真空镀铝中溅射问题的分析及处理
来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Bomm
【摘 要】
:
<正> 真空镀铝膜时,经常会发生铝液溅射现象(又称溅火或打火),使被镀物因铝液的喷溅而出现孔洞,造成废、次品(尤其是塑料薄膜)。所谓溅射现象,即在蒸发源工作时,在产生铝金属
【作 者】
:
张忠武
董华娟
【机 构】
:
浙江省萧山市包装材料股份有限公司,浙江省萧山市包装材料股份有限公司
【出 处】
:
真空科学与技术
【发表日期】
:
1990年06期
【关键词】
:
溅射现象
真空镀铝
分析及处理
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<正> 真空镀铝膜时,经常会发生铝液溅射现象(又称溅火或打火),使被镀物因铝液的喷溅而出现孔洞,造成废、次品(尤其是塑料薄膜)。所谓溅射现象,即在蒸发源工作时,在产生铝金属蒸汽时,还不断从蒸发源上飞溅出未
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