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以六氯二硅氧烷和无水乙醇为原料，在惰性溶剂中进行醇解反应，高选择性地合成了六乙氧基二硅氧烷（HEODS）。采用气相色谱、质谱对产物进行分析，并研究了溶剂类型、用量对HEODS选择性的影响。结果表明，惰性溶剂能有效降低反应体系中氯化氢的含量，从而减少副反应的发生，提高HEODS的选择性；优选四氯化碳作为溶剂，合成的HEODS的产率达94．3％。