【摘 要】
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利用共溅射技术制备了MgxZn1-xO薄膜样品,研究了Mg的掺杂浓度对其晶体结构、光学带隙的影响,退火环境与温度对其晶体结构、表面形貌的影响.通过对XRD图的分析表明,所制MgxZn1
【机 构】
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光电带隙材料教育部重点实验室,黑龙江省先进功能材料与激发态重点实验室,哈尔滨师范大学
【基金项目】
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黑龙江省自然基金项目（F201202）, 黑龙江省教育厅骨干教师项目（1251G031）, 黑龙江省研究生创新科研资金项目（No.YJSCX2011-414HLJ）, The Natural Science Foundation of Heilongjiang Province under Grant（A201304）
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利用共溅射技术制备了MgxZn1-xO薄膜样品,研究了Mg的掺杂浓度对其晶体结构、光学带隙的影响,退火环境与温度对其晶体结构、表面形貌的影响.通过对XRD图的分析表明,所制MgxZn1-xO薄膜样品为六角纤锌矿结构,且随着x值的增大,样品的晶格常数c逐渐减小;对比真空环境下,氧气中退火温度为500~600℃时更有利于提高样品的结晶质量.对吸收谱的分析表明随着Mg掺杂浓度增大,样品的吸收边向短波方向移动,带隙增大.
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