准分子激光激发的快速光谱分析

来源 :光谱学与光谱分析 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhangruidao10
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本文介绍了采用准分子激光作为激发源,结合光学多道分析仪(OMA)的并行检测及同时谱扩展技术[1],自编数据采集软件,对中低合金钢样进行采谱并给出150nm同时谱采集结果。 In this paper, we introduce the parallel detection and coincidence spectrum expansion technique using excimer laser as the excitation source and optical multi-channel analyzer (OMA) [1], self-compiled data acquisition software, 150nm spectral acquisition results at the same time.
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