【摘 要】
：
基于FLUENT进行了数值模拟试验,探讨了匀胶托盘几何参数对硅片形变的影响。研究结果表明:在相同真空负压作用下,当承片台直径D小于30mm时,硅片的形变主要为翘曲变形;当承片台
【机 构】
：
南通大学机械工程学院,南通大学电子信息学院
【基金项目】
：
江苏省科技成果转化专项资金项目(BA2013099);南通市重大科技创新专项项目(XA2013001);江苏省研究生培养创新工程项目(KYLX15_1315);南通大学研究生科技创新计划(KYC15004)
论文部分内容阅读
基于FLUENT进行了数值模拟试验,探讨了匀胶托盘几何参数对硅片形变的影响。研究结果表明:在相同真空负压作用下,当承片台直径D小于30mm时,硅片的形变主要为翘曲变形;当承片台直径D大于45mm时,硅片的形变受旋涂匀胶托盘形变的影响增大,在硅片边缘处发生下翘形变。在相同出口速度下,硅片中心周围处的形变和真空度均随着真空吸片口直径d的增大而增大。当承片台面积为其所吸附硅片面积的(1/2~3/5)附近且真空吸片口直径为3mm左右时,旋涂硅片的形变量最小。
其他文献
现代化是目前国内争论比较多的一个话题,关于现代化的标准和评价问题也是学术界一直争论不休的问题,为了全 面的了解现代化,对现代化的理论问题进行了一些归纳、综合,并对中
现存最早的完整的七言诗并不是张衡的《四愁诗》或曹丕的《燕歌行》;东汉辞赋中的某些七言段落与后世成熟的七言诗也相差甚远。最早的七言诗应当是赵晔《吴越春秋》中的《穷
<正>我国第二大戏曲剧种,仅次于京剧,在华北、东北及其他一些地区流行很广,是流传于我国北方的一个戏曲剧种。1909年左右形成于唐山。习称"蹦蹦戏"或"落子戏",又有"平腔梆子
想象力是意象思维的审美活动,是审美主体对审美客体(书法)的审美感悟。审美想象力是审美直观、审美意象、审美理念"道发自然"的关键。
目的探讨重症颅脑损伤患者的优质护理方法。方法将96例重症颅脑损伤患者随机分为观察组和对照组,每组48例。对照组给予常规护理,观察组在常规护理的基础上实施优质护理,比较
目的观察针刺足三里捻转补泻手法对血虚证大鼠Hb(Hematoglobin,血红蛋白)、SF(Serum ferritin,血清铁蛋白)等的影响,探讨针刺捻转补泻手法与效应的关系。方法将176只SD大鼠随
<正> 磷酸二氢钾是一种高效速溶性磷、钾复合化肥,分子式是 KH2PO4,白色结晶,含磷（P2O5）22.8%,含钾（K2O）28.6%,吸湿性小,溶液是酸性。
以深圳地铁为例,通过对地铁客运量及运营成本在不同行车间隔下的特性分析,反映出地铁固定成本占比较大,达到总成本的80%以上；地铁客运量的增长幅度有随行车间隔的缩短而递减的