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介绍了金刚石多线切割设备的原理,并采用直径为250μm的金刚石线进行切割工艺实验。使用不同的工艺参数,比较了不同工艺参数对晶片TTV（整体厚度偏差）的影响,给出了实验比较结果,通过改变工艺参数可以使各切割片的TTV控制在25μm之内。
金刚石多线切割设备在SiC晶片加工中的应用
【摘 要】
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介绍了金刚石多线切割设备的原理,并采用直径为250μm的金刚石线进行切割工艺实验。使用不同的工艺参数,比较了不同工艺参数对晶片TTV（整体厚度偏差）的影响,给出了实验比较结果
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二研究所
【出 处】
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电子工艺技术
【发表日期】
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2012年1期
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