【摘 要】
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热阴极电离规测量和使用中注意的问题李正海(兰州物理研究所.兰州730000)真空测量中.热阴极电离真空计是使用最广泛的一种,不同类型的电离规配合使用能够测量的压力范围,可以从低真空起到
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热阴极电离规测量和使用中注意的问题李正海(兰州物理研究所.兰州730000)真空测量中.热阴极电离真空计是使用最广泛的一种,不同类型的电离规配合使用能够测量的压力范围,可以从低真空起到目前所能测量的最低压力。尤其在超高真空和极高真空区域中,热阴极电离...
Measurement and Usage of Hot Cathode Ionization Gauges Li Zhenghai (Lanzhou Institute of Physics, Lanzhou 730000) Vacuum measurement. Hot-cathode ionisation vacuum gauges are the most widely used one. Different types of ionization gauges are used in conjunction with a range of pressures that can be measured to allow the lowest possible pressure to be measured from low vacuum. Especially in the ultra-high vacuum and very high vacuum area, hot cathode ionization ...
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