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采用阳极氧化的方法，通过改变电压的施加方式制备了具有不同形貌的氧化钛薄膜，使用X射线衍射仪对阳极氧化钛薄膜的晶体结构进行了分析。结果表明：电压施加方式不影响氧化钛薄膜的晶体结构，不同电压施加方式制备的氧化钛薄膜均为锐钛矿型，并且在相同的晶面上优先生长；在两步施加电压法中，初始电压不影响氧化钛薄膜的晶体结构，但是影响氧化钛薄膜的晶粒尺寸，初始电压越大，晶粒尺寸越大。