【摘 要】
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通过用Monte Carlo方法模拟N2-H2混合气体直流辉光放电等离子体快电子行为,从不同H2浓度的电子能量分布函数,电子密度以及ef-N2碰撞率等方面,研究了加H2对氮辉光放电等离子体
【机 构】
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河北师范大学物理科学与信息工程学院,石家庄,050016
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通过用Monte Carlo方法模拟N2-H2混合气体直流辉光放电等离子体快电子行为,从不同H2浓度的电子能量分布函数,电子密度以及ef-N2碰撞率等方面,研究了加H2对氮辉光放电等离子体过程的影响.研究结果表明:随着H2浓度的升高,电子的平均能量增加,电子密度及ef-N2的各种非弹性碰撞率减小;但在一定的放电条件下,加入少量的H2,可以提高N2的离解和电子激发率,即选取合适的放电参数,加入少量的氢,不仅可以提高电子密度,而且有助于提高重要氮活性粒子(N2*,N+,N)的浓度.并得到了有利于粒子(N2*,N+,N)产生的H2的最佳浓度.研究结果为认识N2/H2混合气体辉光放电等离子体过程机理,探索提供“氮活化粒子富源”的实验研究提供参考依据.计算的激发态(C3пu)的分布与实验结果进行了比较.
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