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为使压电微定位平台具有良好的性能,采用改进PID控制器对其进行反馈控制.首先,对压电执行器机电特性及平台动力学特性进行分析,建立并辨识出了平台动力学模型;其次,采用非饱和积分和钝化微分分别改进PID控制器中的常规积分和常规微分,以减小平台响应的超调量以及对干扰的敏感性;最后,对平台控制系统进行了仿真并实验验证了其有效性,结果表明,平台对5μm阶跃目标位移的响应为0.3s,且无超调,稳态误差中线由无控制时的0.57 ～0.66 μm减小为几乎为0;在跟踪由正弦信号、常值信号、斜坡信号所组成的目标位移时,跟踪误差几乎为0.改进PID控制器可消除平台的定位误差,并使平台具有较快的响应,且无超调.