论文部分内容阅读
针对压电陶瓷执行器输出位移的迟滞非线性现象，基于压电陶瓷铁电效应的微观极化机理，应用电畴转向理论，解释了产生迟滞非线性的原因。为了降低迟滞特性对压电陶瓷执行器的影响，研究了MPT-2MRL103A压电陶瓷微位移执行器迟滞特性，并采用广义非线性Preisach模型建立压电陶瓷执行器迟滞模型，利用建立的的模型作为PID反馈控制的前馈环节进行闭环精密定位控制，进一步改善压电陶瓷执行器驱动电压与输出位移问的线性关系，提高定位精度。