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当有机物分子吸附到多孔硅表面时，由于有机物分子在多孔硅的孔内的毛细冷凝作用，将引起多孔硅层有效折射率的变化，从而导致多孔硅微腔反射谱吸收峰峰位的变化．本文主要利用Bruggeman介电常数近似理论与传输矩阵的方法，建立了多孔硅微腔的传感模型．使用多孔硅微腔的反射谱实验装置对多孔硅微腔进行了传感实验，结果证明多孔硅微腔传感元件可以实现对有机物蒸汽的检测，且分辨率较高，响应时间和恢复时间短，可重复性好．