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随着车载、机载高分辨率光学及激光设备的发展，对大行程隔振设备的要求也越来越高。笔者对低频大振幅振动难以采用被动振动隔离方法进行隔离的特点，研制了用于大振幅振动主动隔离Hexapod平台的筒式直线电机作动器。该作动器不仅具有较高的响应速度，也具有较大的行程和输出力，可以用于大振幅振动的主动隔离。作动器性能测试结果显示定位精度高于1μm，响应频率高于50Hz。采用自适应逆控制方法对3Hz-20Hz的正弦振动进行了振动主动隔离实验，结果显示振动隔离效果达到20dB以上。