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论述0．1um精度三维互感式测头的设计原则和设计的初始依据，对结构的方法，结构尺寸的选择，主要技术参数的确定，零部件公差的制定以及影响测头精度的主要因素等方面进行了理论分析和计算，同时给出了该测头的检定数据，证明与理论计算相一致。
高精度三维测头结构设计研究
【摘 要】
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论述0．1um精度三维互感式测头的设计原则和设计的初始依据，对结构的方法，结构尺寸的选择，主要技术参数的确定，零部件公差的制定以及影响测头精度的主要因素等方面进行了理论分析和
【机 构】
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天津大学,航天航空工业部102研究所
【出 处】
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天津大学学报
【发表日期】
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1993年1期
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