一种用于MEMS样品测试的六轴微力传感器

来源 :现代机械 | 被引量 : 6次 | 上传用户:beige0801
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
本文研制了一种用于MEMS样品测试的六轴微力传感器。首先采用有限元法对特定结构的传感器进行了静力学分析 ,确定了其布片方案 ;然后通过软件实现对传感器输出进行六轴力 /力矩的解耦 ,这大大简化了后置解耦电路的设计并降低了成本 ;最后本文给出了六轴微力传感器的标定曲线 ,证明其可用于MEMS做样品力学特性测试。
其他文献
本文提出了在AutoCAD软件上,巧妙利用软件的对象捕捉、块、属性功能,再用AutoLISP语言作简单的二次开发,对多轴箱进行传动设计的简便方法.该方法使整个设计过程简单,方案修改
大国经济有自己独有的特点,大国经济与经济大国是两个既有区别又有联系的概念,大国经济的国内市场对大国经济的发展具有举足轻重的作用.
本文利用光学显微镜(OM)、扫描电子显微镜(SEM)研究了不同的状态下损伤容限型TC4钛舍金的疲劳性能。结果表明:损伤容限型TC4钛合金经过995℃/1hAC+550℃/4h处理后得到魏氏组织,并且疲
市场营销学自19世纪末创立以来,已发展为一门综合了经 济学、管理学、社会学、心理学和行为科学等学科原理,又与这些 学科有着不同的研究对象和研究内容的、具有独立体系的边
;本文介绍了虚拟环境中产品装配的一般理论、方法以及所采用的一些技术,并着重讨论了实体模型建立、装配规划及装配顺序的优化和评价等问题,指出了一般虚拟装配系统的不足.
本文研究了刀具柔性系统的编制原则和研制理论;提出了刀具编码系统代码的基本构成和实现方法。该编码系统解决了传统编码系统在描述时出现的多义性问题,可以快捷、详尽而准确地
诉讼效率低下目前已成为制约我国法制和社会发展的瓶颈之一.认识这一问题首先要明确效率与民事诉讼的效率以及其他相关概念的确切含义.其次由于诉讼活动与日俱增导致司法机关
从废催化剂中回收稀有金属吴春山钼是稀有金属,所以从废料中回收已经受到世界各国的普遍重视,其中以从废催化剂中回收钼的成效最大。进入90年代以来,西方国家每年从石油工业用过的