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根据射频放电中电流连续性方程、稳态时电子数密度的连续性方程以及电子的能量平衡方程，建立了气体放电氧碘激光器中α型射频放电等离子体的理论模型，通过数值求解得到了射频放电等离子体中电场、电子数密度的空间分布，分析了放电参数对放电特性的影响。结果表明采用频率高的射频放电会使放电空间电场降低，电子数密度增加，从而有利于单重氧的生成，为提高气体放电中单重氧的产率提供了理论依据。