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本文分析了激光诱导化学气相沉积制备纳米材料的基本，获得了适宜的制备工艺参数，制得了三种粒径样品（１５ｎｍ，２５ｎｍ，８０ｎｍ）。讨论了制备工艺参数与粉末特征的关系。
CO2激光CVD制备纳米硅粉
【摘 要】
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本文分析了激光诱导化学气相沉积制备纳米材料的基本，获得了适宜的制备工艺参数，制得了三种粒径样品（１５ｎｍ，２５ｎｍ，８０ｎｍ）。讨论了制备工艺参数与粉末特征的关系。
【机 构】
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中国科学院国际材料物理中心,华南师范大学量子电子学研究所
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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1995年2期
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