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射频Langmuir探针是诊断射频感应耦合等离子体参数的重要工具．通过给探针添加LC调谐电路．减小了探针尖鞘层射频压降的干扰，得到可以由简单理论处理的I-V特性曲线；通过控制扫描电压大小对探针尖进行加热或溅射，解决了探针尖污染和测量结果不能重复的问题，找到恰当的测量扫描电压．
射频Langmuir探针制作过程中的干扰问题及解决办法
【摘 要】
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射频Langmuir探针是诊断射频感应耦合等离子体参数的重要工具．通过给探针添加LC调谐电路．减小了探针尖鞘层射频压降的干扰，得到可以由简单理论处理的I-V特性曲线；通过控制扫描电
【机 构】
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辽宁师范大学物理与电子技术学院
【出 处】
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辽宁师范大学学报：自然科学版
【发表日期】
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2006年2期
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