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表面数字化是逆向工程的关键技术之一，针对其精度和效率难以同时提高的冲突，运用发明问题解决理论（TRIZ）中的冲突解决理论来分析问题，用通用技术特性参数描述冲突，利用冲突矩阵从40条发明原理中找到有启示作用的发明原理。根据分割和预操作发明原理，将两种不同传感器有机集成，形成一个整体系统，实现优势互补，形成多传感器集成测量新方法。实验结果表明，该方案可有效解决逆向工程表面数字化的精度和效率之间的冲突，能够同时提高表面数字化的精度和效率。