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半导体制造技术的新趋势—柔性加工技术
半导体制造技术的新趋势—柔性加工技术
来源 :电子材料(机电部) | 被引量 : 0次 | 上传用户:ldkkkkk54
【摘 要】
:
概述了半导体柔性制造技术近年的发展状况,以MMST为例,介绍了柔性加工中所用的单片加工组合设备、传感器和CIM系统。
【作 者】
:
钱小工
【出 处】
:
电子材料(机电部)
【发表日期】
:
1995年6期
【关键词】
:
半导体制造技术
柔性加工技术
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概述了半导体柔性制造技术近年的发展状况,以MMST为例,介绍了柔性加工中所用的单片加工组合设备、传感器和CIM系统。
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