纳米薄膜的光学参数及厚度提取方法研究

来源 :光电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yuanmm123

【摘要】

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采用磁控溅射法在玻璃基底上分别制备了不同厚度的单层TiO2、Au纳米薄膜和双层TiO2/Au纳米薄膜,并测量了这些薄膜的透射光谱.通过设计计算机程序拟合透射光谱;获取了薄膜的折

【作者】

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金文豪徐东杨莺歌张亚非

【机构】

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上海交通大学微纳科学技术研究院、微米/纳米加工技术国家重点实验室、薄膜与微细技术教育部重点实验室

【出处】

：

光电子技术

【发表日期】

：

2006年1期

【关键词】

：

薄膜光学光学常数非线性约束优化算法 thin film optics optical constant constrained nonlinear prog

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采用磁控溅射法在玻璃基底上分别制备了不同厚度的单层TiO2、Au纳米薄膜和双层TiO2/Au纳米薄膜,并测量了这些薄膜的透射光谱.通过设计计算机程序拟合透射光谱;获取了薄膜的折射率和消光系数随波长的变化曲线以及薄膜的厚度.这种拟合方法是以非线性约束优化理论为基础的,具有透射光谱易测量、计算精度高等特点.

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