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本文根据正性光抗蚀的感光显影特性，推导出了全息光栅为槽深度公式，分析了影响光栅槽型结构的因素，建立了光栅沟槽模型。并根据论理论制作 为出衍射效率高达６５％的２４００线／毫米的全息平面反射光栅。本文还介绍了全息光栅复制技术，解决了高质量光栅昂贵的生产成本和大批量生产问题。
高衍射效率全息光栅的制作与复制工艺研究
【摘 要】
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本文根据正性光抗蚀的感光显影特性，推导出了全息光栅为槽深度公式，分析了影响光栅槽型结构的因素，建立了光栅沟槽模型。并根据论理论制作 为出衍射效率高达６５％的２４００线／毫米的全息平面
【机 构】
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北京市计量科学研究所,清华大学光测力学研究室
【出 处】
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现代科学仪器
【发表日期】
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1999年5期
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