【摘 要】
：
实现高PPI(单位面积像素个数),需要更细的线宽和更窄的间距,这往往受到光刻设备解像力的限制,本文对基于不改造镜像投影曝光设备而提高光刻解像力进行研究。用半导体工艺模拟
【机 构】
：
京东方科技集团TFT-LCD技术研发中心,北京京东方光电科技有限公司
论文部分内容阅读
实现高PPI(单位面积像素个数),需要更细的线宽和更窄的间距,这往往受到光刻设备解像力的限制,本文对基于不改造镜像投影曝光设备而提高光刻解像力进行研究。用半导体工艺模拟以及器件模拟软件模拟分析了离焦量为0时,相位移掩膜和传统掩膜下2.5μm等间隔线的光强分布。根据设备参数模拟分析离焦量为15、30μm时通过掩膜得到的光刻间距情况,最后,实际比较测量了相同条件下各自曝光剂量范围和切面坡度角。实验结果表明:相位移掩膜能使镜像投影曝光机分辨力以下间距(线宽)的工艺容限增大1倍,并使相应曝光量下间距(线宽)的分布更集中,从而增加细线化的稳定性。使用相位移掩膜能提高镜像投影曝光机的解像力。
其他文献
照明系统是室内环境的一个重要能源消耗对象,目前浪费较严重。设计了一种智能化、节能型的照明控制系统,包括光照度控制装置、红外线人体感应装置、PC机图形化可视界面三大部
为了克服Hough变换需要大量存储资源的缺点,在分析传统Hough变换定义方式的基础上,提出了一种新的改进算法。该算法采用多点对应一点的匹配映射规则,对参数空间中的线段形参
数学科在基础教育中的核心位置是不容置疑的。然而,我国中小学数学课程的某些方面已经受到质疑:对普通人来说,学校教的不少数学知识又难学又没用处,而日常工作生活中真正需要
上市公司关联方信息违规披露侵害了中小股东利益,制约了我国资本市场的发展。文章归纳总结了2004～2009年证监会公布的处罚公告信息,并对我国上市公司当前的关联方信息违规披露
基于DFT-B3LYP方法在6-311G**基组水平上计算获得了36种苯酚和苯胺类化合物的量化和理化参数,采用最佳变量子集回归方法,建立苯酚和苯胺类化合物对大型蚤毒性与上述描述符参
<正> 不射精症(AE)是指阴茎能正常勃起和性交,但是达不到性高潮和获得性快感,不能射出精液,或是在其他情况下可射出精液,而在阴道内不射精。不射精症常导致男子不育症,约占性
提出了基于数字微镜阵列(DMD)的Hadamard变换光谱成像仪编码模板的修正算法。利用原理样机获得了目标的光谱数据立方体,在分析DMD结构特点的基础上,建立了一种Hadamard变换光
<正>实施美术教学是发展素质教育的重要内容和途径,在提高人的素质方面有着其他学科不可替代的作用。长期以来,我国美术教学以临摹教学为主,只讲究技法的纯熟,而忽略学生创造
时域展宽是激光回波脉冲的重要特性,也是影响激光雷达相关检测性能的重要因素。建立了考虑时域展宽特性的激光回波脉冲数学模型,以此模型和相关检测原理为基础分析了时域展宽
在总结以往相关研究的基础上,从供应链物流能力的视角出发,构建物流能力评价体系,建立关系模型,运用结构方程方法研究供应链物流能力对企业绩效的影响,分析结果表明:运作能力