【摘 要】
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吸湿失效是影响LED可靠性的一个重要问题.从LED芯片结构着手,在蒸镀钝化层之前在芯片切割走道边缘处镀12 nm厚度的TiO2,宽度分别是5 μm和8 μm,其目的是为了增强与SiO2钝化层的黏附性,同时减少切割带来的钝化层损坏.通过逆电解测试与高温高湿老化测试,测试结果均表明蒸镀TiO2薄膜可以提高LED抗湿性能.
【机 构】
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厦门理工学院光电与通信工程学院,福建厦门 361024;厦门理工学院光电与通信工程学院,福建厦门 361024;厦门理工学院福建省光电技术与器件重点实验室,福建厦门 361024
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吸湿失效是影响LED可靠性的一个重要问题.从LED芯片结构着手,在蒸镀钝化层之前在芯片切割走道边缘处镀12 nm厚度的TiO2,宽度分别是5 μm和8 μm,其目的是为了增强与SiO2钝化层的黏附性,同时减少切割带来的钝化层损坏.通过逆电解测试与高温高湿老化测试,测试结果均表明蒸镀TiO2薄膜可以提高LED抗湿性能.
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