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微悬臂梁结构因具有低成本、小体积、高性能等特点而被广泛应用于传感器的制作中，同时也成为当下传感器研究的热点。主要介绍微悬臂梁的结构、工作原理和它在传感器中的应用。
浅析微悬臂梁的应用
【摘 要】
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微悬臂梁结构因具有低成本、小体积、高性能等特点而被广泛应用于传感器的制作中，同时也成为当下传感器研究的热点。主要介绍微悬臂梁的结构、工作原理和它在传感器中的应用。
【机 构】
：
中芯国际集成电路制造（天津）有限公司
【出 处】
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科技与创新
【发表日期】
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2014年7期
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