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本文介绍在半导体行业中所产生废气的危害性及其处理方案，并且着重介绍德国DAS公司的领先技术和产品。
半于半导体行业废气处理的解决方案
【摘 要】
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本文介绍在半导体行业中所产生废气的危害性及其处理方案，并且着重介绍德国DAS公司的领先技术和产品。
【机 构】
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DASGmbHDresden
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2002年1期
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