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期刊论文
MNOS电容的辐照吸收特性
MNOS电容的辐照吸收特性
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gaccia_zhou
【摘 要】
:
本文报道MNOS存储电容的辐照吸收规律与电容对存储电荷的保留特性之间有一定的内在联系:在SiO2膜辐照响应的集总常数保持不变时,样品对存储电荷的保留能力越强,则辐照响应的敏感
【作 者】
:
刘毓耿
易清明
等
【机 构】
:
暨南大学电子工程系
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
1995年5期
【关键词】
:
MNOS电容
电容
辐照
吸收特性
AbsorptionDosimetryRadiationSemiconductor devices
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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本文报道MNOS存储电容的辐照吸收规律与电容对存储电荷的保留特性之间有一定的内在联系:在SiO2膜辐照响应的集总常数保持不变时,样品对存储电荷的保留能力越强,则辐照响应的敏感剂量越往小剂量方向移动。
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