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通过考察各种放电状态及气流条件下发生器内外物种的自发辐射谱，发现光谱峰值强度与对应物种浓度成正比。分析了主要的等离子体动力学过程，了解了单重态氧及其它物种的浓度变化规律。考察了α放电和γ放电两种不同的放电方式。发现在α放电状态下，体系中有较少氧原子等淬灭性粒子，更有利于O2（^1△）产生。加入He，有效地降低了气体体系的离子化阈能和约化场强，约化场强最小时，产生的O2（^1△）浓度最大，相较于纯氧放电，O2（^1△）浓度提高一倍以上。考察了腔外各物种浓度的变化，O2（^1△）离开放电腔后浓度稳定，沿距离减